二手 TEL / TOKYO ELECTRON SD-910-3YN #9131946 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SD-910-3YN是一種先進的擴散爐及配件，設計用於高性能半導體生產應用。適用於多種生產工藝，包括但不限於：擴散、氧化、退火、蒸發等。TEL SD-910-3YN采用堅固耐用的不銹鋼腔室,耐用且易於維護。它還配備了先進的過程控制設備，具有自動溫度控制功能，可實現精確和可重復的加熱和冷卻溫度。該系統還設有一個大氣控制泵，可以檢測和相應調整氣體流量，以保持可靠的氣體控制和目標樣品的均勻加熱和冷卻。TOKYO ELECTRON SD-910-3YN采用防汙染設計，有助於最大限度地減少操作過程中產生的粒子。這是通過使用加熱的合金氣體註入室和水冷空氣/氣體洗滌單元來實現的。集成的防撞噴嘴可確保腔室內的熱均勻性,消除熱點或冷卻不規則性,這對於退火等困難的過程反應尤為重要。SD-910-3YN還配備了強大的電動機驅動器，在蝕刻和其他濺射過程中精確控制層厚度。這是通過利用閉環控制機通過控制沈積/蝕刻速率來微調層厚度來實現的。它還配備了先進的電氣安全工具，可監控地面電壓並相應控制功率輸出，以確保安全運行。TEL/TOKYO ELECTRON SD-910-3YN還設計了用戶友好界面，方便操作維護。定制的體系結構和自動配方加載選項使該擴散爐成為半導體行業生產過程中的寶貴工具。TEL SD-910-3YN是一種用途廣泛且可靠的擴散爐和附件,它將有助於簡化制造過程,幫助提高整個過程的效率和可靠性。其先進的特性和穩健的設計使其成為高性能半導體生產的寶貴工具。