二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA Nitride #9253033 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA NITRIDE是一種擴散爐及配件，旨在滿足電子器件制造的需求。氮化物爐是一種特殊的等離子體輔助化學氣相沈積（PECVD）工具，用於沈積氮化物材料。它能夠一次處理三個晶片，並且可以達到高達1050 °C的溫度。爐子裝有HL-UT加工室，可以調整以允許垂直或水平加工。它還裝有上下部供氣通道，使爐子可用於標準和高溫氧化過程。氮化物爐配有智能邏輯系統，能夠在檢測到錯誤時自動進行自我監控、檢測故障和關閉。它還為用戶提供了4步操作模式，允許他們根據應用程序的要求從三種預編程沈積模式中選擇一種。氮化物爐裝有RS-232串行接口，使其可以連接到兼容的計算機系統，用於監測和控制工藝參數。它還能夠存儲多達24種具有可調功能的配方，允許為不同的流程設置不同的流程參數。氮化物爐裝有強大的石英燈，每脈沖最多可提供1200mJ個，並由屏蔽片保護。該燈適用於各種沈積過程，如化學氣相沈積和濺射。它也被設計為持續多年，保證壽命為2萬小時。氮化物爐的設計目的是提供高水平的安全，同時提供氣體探測器和斷開開關，以確保操作員的安全。此外，還有一個緊急停止按鈕，用於快速、安全地關閉爐子。氮化物還有一個冷卻系統，可以快速降低腔室溫度，使其打開，加工後的晶圓取出。總體而言，TEL TELFORMULA氮化物是一種強大可靠的擴散爐，是制造電子設備的理想選擇。它易於操作，對工藝參數提供靈活的控制，設計用於安全可靠的操作。