二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M #293595800 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M是TEL設計制造的擴散爐及配件。該擴散爐設計用於薄膜沈積、摻雜和驅動過程的生產，是先進研發和工業薄膜過程的終極工具。TEL TELINDY Plus-I-M擴散爐使用感應耦合型技術，產生高達令人印象深刻的950°C的均勻溫度。該擴散爐還設有石英玻璃加熱室，以確保在高溫下工作時的最大安全。以600 Torr的最大壓力，TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M擴散爐可以處理任何擴散驅動的應用。該擴散爐還配備了自動控制裝置，可以安全高效地對每個工藝進行準確和預測的控制。TELINDY Plus-I-M還包括多種配件，包括氣體控制設備、氣相反應物供應系統、溫度測量單元和真空逆變器，進一步有助於營造穩定的加工環境。為了保證操作員在操作過程中的安全，TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-I-M配備了外部超溫和接地故障互鎖機，有助於消除溫度或電氣異常的意外上升。它還具有多陷阱設計,可提供冷熱陷阱,以提高收集效率並提高安全性。TEL TELINDY Plus-I-M擴散爐的設計是為了滿足精細特征的精確控制和溫度均勻性的最高生產要求。該擴散爐制熱制冷精密，加工時間短，安全性能優越，是先進工業薄膜工藝工作人員的理想選擇。