二手 TEL / TOKYO ELECTRON UHO-2505 #9112862 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UHO-2505是為專門的薄膜沈積應用而設計的擴散爐。它是一個垂直爐，頂部到底部可打開蓋子，最高溫度範圍高達1100攝氏度。它配有一個長方形的內部石英敏感器，確保室內甚至加熱，並防止外界的汙染。爐子配有高性能控制器，允許用戶對溫度概況、每一步的持續時間、坡道速率等變量進行編程。它還支持手動和自動操作，使其適合各種實驗室應用。該系統還配備了兩個獨立的PID控制器，用於精確的溫度控制和持續的壓力和溫度測量。TEL UHO-2505的內部由石墨感知器托盤、加熱元件和處理氣體的設備組成。加熱元件的設計是為了確保爐膛內溫度均勻，同時保持低熱梯度。石墨敏感器托盤可實現均勻的溫度分布和高效的晶圓處理。TOKYO ELECTRON UHO-2505的附件包括用於高效排氣的排氣風扇和文丘裏管以及用於控制等離子體密度的射頻阻抗匹配網絡。用戶還可以在排氣管線內安裝比例閥，自動控制爐內壓力。UHO-2505是一種可靠和耐用的擴散爐，適合各種實驗室應用。由於其緊湊的設計，熔爐可以安裝在不同的位置，並且易於運輸。高性能控制器和溫度控制的準確性保證了爐子能夠產生高質量的效果。其堅固的結構和配件使其成為擴散爐應用的理想選擇。