二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226253 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS
ID: 9226253
晶圓大小: 6"
優質的: 1989
Diffusion furnaces, 6" 1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS是一種多功能擴散爐及配件,設計用於半導體生產。TEL UL-2604-08-HS配備了高達355KHz的高速脈沖辨別設備,使其能夠運行異常快速的流程。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS還通過獨特的加熱器控制程序提供了更高的溫度控制精度,該程序可以在400-1100°C的範圍內改變最高工作溫度。該裝置還具有氣體屏蔽系統,確保在整個加熱過程中零耗氧。UL-2604-08-HS還配備了安全測試儀,監測外部和內部狀況,以確保爐子盡可能安全運行。磁力雷達保證了精確溫度控制和消除熱沖擊所必需的低振動操作。此外,TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS采用特殊的過程壓力反饋程序設計,允許用戶根據過程的階段調整壓力。TEL UL-2604-08-HS非常適合各種應用,包括擴散、氧化、退火、層形成和CVD工藝。它能夠實現低電壓和低溫的主要擴散過程,以及超高速脈沖辨別的快速過程。其氣體屏蔽單元還允許在整個過程中積極維護氮氣大氣。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS是一種高效可靠的擴散爐及附件.其先進的控制機器、溫度精度和安全測試儀使其適合多種生產工藝。該裝置還配備了強大的低振動磁力雷達以及消除氧氣消耗的氣體屏蔽工具。對於那些尋求高速、高精度流程的人來說,UL-2604-08-HS是一個理想的選擇。
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