二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226256 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS
ID: 9226256
晶圓大小: 6"
優質的: 1988
Diffusion furnace, 6" 1988 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS是一種擴散爐及相關配件,旨在為理想的擴散操作提供最佳條件。該設備由一系列組件組成,這些組件可以高精度地對烤箱進行調理,從而為所需的擴散結果創造完美的環境。TEL UL-2604-08-HS包含一個主單元和一個加熱室、一個冷卻室以及一個匹配的供氣單元。這三個組成部分協同工作,為擴散操作創造了最佳條件。加熱室提供安全可靠的性能,同時提供100至1100 °C的溫度範圍。它由鉬熱線組成,可精確控制溫度,保持室內溫度分布均勻。冷卻室提供從-40到100°C的大範圍溫度,並配有垂直式熱井,以協助室內的溫度管理。供氣單元對來自加熱室的加熱空氣有一個匹配的連接,允許它與擴散操作所需的各種氣體結合使用。該系統配備了先進的多功能控制單元,用於管理擴散操作的不同方面。采用PID自動調諧技術,設計了溫度控制機來精確、快速地控制溫度。壓力調節工具確保供應壓力保持一致,大氣控制資產設計用於監測和調節工藝室內的氧氣水平,以確保擴散操作的最佳條件。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS還提供了真空排氣和冷卻塔供氣等多種其他功能。它還允許同時使用多達三種氣體,進一步增強用戶體驗。安全功能檢查壓力和溫度以確保安全,在不符合這些條件的情況下自動停止運行。UL-2604-08-HS是完美擴散操作的一個優秀的一體模型。它提供了廣泛的溫度、精確的控制機制和多功能的控制設備。該系統小巧、可靠,專為高性能擴散操作而設計。
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