二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226257 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS
ID: 9226257
晶圓大小: 6"
優質的: 1989
Diffusion furnace, 6" 1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS是一種工業擴散爐及相關配件,旨在為工業應用安全高效地加熱和冷卻元件。TEL UL-2604-08-HS模型由一個垂直爐房和一個附著在爐房上的熱側組成。爐房內部容積400升,可用工作空間350升,有八個單獨控制的區段。該爐還包括冷卻風機設備和兩個程序控制器:主控制器和從控制器。主控制器控制八個段中的溫度輪廓,而從控制器用作輸入終端,用於引入各種操作參數,如加熱和冷卻設定點、加熱和冷卻速率以及熱區溫度。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS的最大額定功率為60kW,最高溫度為1300 °C。控制器具有64步可編程坡道,可精確、重復地控制每個段的溫度。此外,還可以采用高性能的熱處理系統來實現整個爐的高均勻性。該爐具有多種附加安全特性.其中包括安全門聯鎖、機械/熱超載繼電器、過溫防護、防抱死單元,以及配備故障安全機和低溫「脫離」功能的底部滑動煙囪門。UL-2604-08-HS包括多個附加附件,以提高工作流程和效率。其中包括探頭進給工具、溫度和水傳感器、氯氣分析儀、氣體輸送資產、三個獨立的氣體面板系統、真空模型、電湧保護器和應急電力設備。有了所有這些元件,TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS是各種工業、實驗室和研究應用的完美工具。
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