二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226258 待售

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS提供無與倫比的擴散爐及輔助性能.該模型專為先進的半導體應用而設計，是各種超低溫工藝的理想選擇。它是一個單熱區設備，配備4英寸，25位的盒式磁帶機頭和8英寸的石英加熱器。熱區是為控制和管理溫度和均勻性而設計的。此外，該系統還利用自動石英管流量控制對工藝進行優化。爐的整體尺寸為1200毫米（高度）和1900毫米（長度）。TEL UL-2604-08-HS具有較寬的溫度範圍（最高1,400 °C）和± 2.0 °C的低溫均勻性（以1𝛅表示）。溫度控制通過5.7英寸彩色顯示屏的可編程邏輯控制器（PLC）進行。其他功能包括使用熱通量計算的過程控制、通過集成分析儀進行的現場O2控制以及連接到計算機網絡的通信功能。該裝置配備先進的設計特點，保證溫度均勻性和工藝可重復性。加熱器中的高精度電阻螺旋熱包裝盒具有極好的溫度均勻性。集成的加熱器風扇有助於優化半導體晶片的溫度分布。自動空氣擋板連接到加熱器提供額外的溫度均勻性和一致的過程分布。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS機還提供先進的安全功能來保護用戶和過程。使用高溫限位開關監測加熱室的溫度。它可以檢測到加熱器下遊的任何溫度波動,如果檢測到危險的工作溫度,它將自動關閉工具。自動室門鎖可確保室在過程中安全。UL-2604-08-HS有一個集成的自動門解鎖資產。此模型可通過PLC設備或外部控制手動觸發。具有加熱器、石英管、加熱器風扇和溫度控制的單一集成封裝提供了高效可靠的擴散爐及附件系統。