二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS #9226230 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS是一種擴散爐及配件，設計用於矽片變薄、外延沈積、晶體管制造等高通量晶圓制造工藝。它有一個大直徑、底部裝填的cruceble、堅固的晶體混合室和低真空端口。熔爐底部裝填的熔爐直徑比傳統熔爐大，保證了溫度分布均勻，大晶圓的通量更高、更快。Crucible的石英玻璃壁也消除了晶圓對晶圓的汙染和缺陷的形成。TEL UL-2604-08-LS配有先進的晶體混合室，在大氣和亞硝基鹽酸沈積反應中產生出色的矽外延沈積混合工藝。這確保了沈積的矽表層和附近器件的最佳質量。在晶圓處理過程中，采用低真空端口和嚴密結構進一步增強了熔爐，以確保最小的汙染。該端口還支持氣體壓力調節,以控制設備的電感絕緣,溫度可調節。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS還包括一個遠程訪問伺服控制器，允許用戶在監控和管理生產過程的同時從任何PC遠程操作爐子。此外,多通道接觸式熱電偶可確保均勻的溫度感測,具有高度穩定的溫度精度、快速的響應和低功耗。UL-2604-08-LS是一種高度先進的擴散爐和配件，為晶圓制造工藝提供了優化的生產率。它的大直徑底載式熔爐、晶體混合室、低真空端口和遠程接入都有助於確保高吞吐量和優異的設備質量。憑借其先進的功能，TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS一定能滿足任何設備制造工藝的需求。