二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS #9226252 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS是一種具有多種自動化、安全性和過程控制特性的擴散爐和控制器部件。是適用於擴散、氧化、摻雜、植入和退火等不同過程的多功能高效設備。TEL UL-2604-08-LS采用模塊化設計,可輕松安裝、配置和操作。它由控制單元和擴散爐兩個設備組成。控制單元包括數據輸入、控制面板、用戶友好的過程控制器以及各種狀態監控和保護功能。它還具有觸摸敏感面板和圖形用戶界面，便於操作。自動擴散爐允許通過微處理器控制器操作和控制過程。它有一個多區供熱系統，由位於主區和外圍區的八個供熱元件組成。這些區域彼此安全隔離,可以獨立控制過程。該爐還具有安裝在主室頂部的擴散爐，可同時運行氧化、摻雜、植入和退火等多種工藝。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS具有多種自動安全和過程控制功能,包括用於安全系統開啟的關鍵開關互鎖、緊急停止按鈕以及用於準確監控過程的溫度和壓力傳感器。該擴散爐還配備了一個數據記錄儀，用於捕獲可用於後處理和分析的過程數據。此外，熔爐和控制部件的設計是為了最大程度地提高操作安全性，包括雙重安全程序、控制電源監測和每個區域的單獨導線接線。它還有一個不銹鋼容器,用於進給通路的水平通道.總體而言，UL-2604-08-LS是一個可靠和用戶友好的擴散爐和控制器組件，適用於復雜的過程，可以很容易地配置和操作。它具有眾多增強的安全和控制功能,是滿足您生產需求的理想選擇。