二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08 #293591385 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08是由TEL Limited設計制造的精密擴散爐。它由三層組成，用於各種沈積過程：垂直加熱、水平加熱和垂直冷卻。垂直加熱層設有氣體分發器、輻射加熱器和三級、可移動的射頻窗。水平加熱層裝有多個對流加熱器，垂直冷卻層裝有循環風扇和散熱器。該擴散爐的最高溫度為1,850 °C，最長運行時間為90分鐘。此外,它還配備了三個3000V電源,以確保精確、穩定的運行。電源的控制是通過在Windows 7 OS上運行的集成計算機設備進行的。此操作系統允許各種設置,包括溫度控制、預熱區控制、沈積區控制和冷區控制。TEL UL 2604-08可用於Poly-Si、Mo-Si2和Ni-Silicid等各種沈積過程和材料。此外，它還可用於定向沈積和線性沈積。設計節能，功耗低，噪聲水平低。它還有一個自動停止裝置,它將在進程結束時自動停止操作。該設備還包括一個自動起重機/除重機功能和三個氣閘，以便快速裝卸工件。TOKYO ELECTRON UL 2604-08還配備了A型快門，以幫助保持低底物濃度，允許晶圓紋理更大的均勻性。最後，它配備了升級的遠程訪問機和警報燈，從而增加了安全裕度。UL 2604-08采用單袍緊湊設計，是各種工業應用的理想擴散爐。TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08具有集成的自動控制系統和其他各種特性，是TOKYO ELECTRON的可靠、堅固且具成本效益的擴散爐。