二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08H / L #9226113 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08H / L
ID: 9226113
晶圓大小: 6"
Horizontal furnace, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H/L是一種熱隔離擴散爐,具有先進的配件,設計用於廣泛的應用。這個爐的溫度範圍很廣,可以達到1300 °C,適合那些苛刻的工藝。TEL UL 2604-08H/L具有減少停機時間的防潮設計,以及內置的氣體控制面板,可輕松設置工藝參數。爐子還有一個易於操作的觸摸屏界面,允許操作員監控和設置爐子參數。TOKYO ELECTRON UL 2604-08H/L采用高效的熱墻設計,在整個過程中提供均勻準確的加熱。UL 2604-08H/L擴散爐還具有先進的多功能石英敏感器,旨在提供高效、均勻的加熱。利用特殊的石英制備了磁感器,並裝載了一個高溫crucible或wafer,以獲得最佳效果。該爐還配備了一個額外的外部水冷安全外殼,由陶瓷制成,這有助於防止潛在的物理接觸熱表面。TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H/L擴散爐包括用於快速、輕松的工件定位的真空加載過程,以及可縮短回收時間和簡化操作的負載鎖定設備和冷卻系統。爐子還配有一個氣相壓力控制裝置,有助於防止過程中任何不受控制的擴散或過載。為確保安全,TEL UL 2604-08H/L配備了可編程的過熱保護機,用於監控溫度,並在超過設定的溫度水平時停止加熱過程。爐子還包括一個帶有LED顯示屏的電氣控制面板,顯示工藝狀態,並幫助用戶根據需要監控和調整參數。TOKYO ELECTRON UL 2604-08H/L擴散爐是那些希望以最小的維護達到清潔、均勻、準確結果的人的可靠工具。使這種爐更智能、更高效的配件和安全特性的數量進一步提高了性能。
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