二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08H #9155404 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H是為滿足半導體器件制造的高熱要求而設計的擴散爐及配件。這種設備由一個高性能、堅固的石英體組成，可以均勻加熱。堅固的石英體利用原位和異位加熱方法以及擴散原理在整個加工環境中均勻散熱。TEL UL 2604-08H是摻雜擴散過程的理想選擇.它具有高溫加熱的精確線性控制、可靠性、寬廣的溫度範圍和低溫能力等特點。此外,該系統還提供靈活的外圍設備控制選項和出色的絕緣性能。TOKYO ELECTRON UL 2604-08H單元具有水平主濾區的多區結構。主區分為四個單獨的溫度控制區。該爐采用高效、閉環、超低壓熱墻內部設計，確保所有四個溫度區的熱分布均勻。它配備了三個冷卻風扇，以提高冷卻效率，並增加一個CO2擋板來控制氣流。此外，UL 2604-08H有一個自動氣體控制機器，能夠使用各種氣體，最大流量為600 SLM。該工具還提供各種可選功能,如遠程控制和監控、用於性能監控的電子捕獲檢測器（ECD）、可編程PID控制器和防汙染過濾器。該資產配備了先進的安全功能，如緊急關機機制和安全聯鎖模式。此外,還安裝了排氣口以保持環境條件並減少工藝停機時間。TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H是為滿足半導體器件制造的嚴格要求而設計的先進擴散爐及配件。它提供高效、低壓的熱墻內部和高效的冷卻風扇,以實現均勻的溫度分布。此設備高度可定制,並提供多種可選功能,以提高安全性和可靠性。TEL UL 2604-08H是現代半導體器件制造商的理想選擇。