二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08L #293586739 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L是專為半導體工業而設計的高性能熱擴散爐。擴散爐采用高功率氣體進料管和靜電原理，將保護材料層和合金層沈積到半導體材料表面。高精度、節能可靠，是半導體生產的首選。爐子的供氣管由兩個熱阻表面組成。第一種將高功率等離子體引導到基板上以沈積保護層。第二個表面較小且精確，保證了均勻的擴散面積。均勻的區域可確保保護材料層在整個基板上一致有效地擴散。TEL UL 2604-08L有兩個可選組件：雙自動轉移臂和配備多熱傳感器的除塵器。自動轉移臂用於在擴散和溫度控制的多個階段之間運輸晶圓基板。同時，熱傳感器在多個點監測爐溫，並向控制器提供反饋。除塵器允許清除交換室內可能存在的空氣中的灰塵和顆粒物，保持工作區的清潔和安全。TOKYO ELECTRON UL 2604-08L還具有用戶友好的觸摸屏控件，可讓操作員根據正在處理的材料定制自己的配置文件。配置文件存儲在硬盤上,可以輕松調整,以便在處理各種基板時快速輕松地進行調整。從安全角度看，UL 2604-08L包括快門報警器、第三人稱警衛和訪問控制系統。只要打開爐門,就會觸發快門報警器,如果關閉不正確,則會停止操作。第三人稱警衛和出入控制系統分別防止未經授權的人員進入爐膛或進行未經授權的行動。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L是為滿足半導體生產行業的需求而建造的精密、高精度和可靠的擴散爐。其高功率、節能的供氣管和雙自動轉移臂，結合用戶友好的觸摸屏控制和多種安全導向功能，使其成為半導體生產的絕佳選擇。