二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08L #9395933 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L是一種用於半導體加工的擴散爐及配件。它是一種水平熱壁式擴散爐，設計用於在單個腔室中同時處理P型和N型半導體基板。這種擴散爐用於半導體器件制造的高純度薄膜，如矽和砷化銨。TEL UL 2604-08L具有由不銹鋼霧化設備制成的超高真空（UHV）腔室,可提供出色的熱穩定性並確保腔室內氣體的均勻分布。腔室內部還裝有加熱器和溫度控制器，用於準確控制整個表面的溫度。它設計用於加工寬度不超過200 mm的基板,如果基板尺寸低於140 mm,可在溫度不超過800 °C、最高溫度不超過1100 °C的情況下運行。此外,加熱器還具有多區域溫度控制功能,可在整個腔室內均勻加熱。TOKYO ELECTRON UL 2604-08L還通過其雙驅動電機系統提供了更高的電機扭矩和更長的使用壽命。它還能夠對基板進行高級熱處理，如氧化、氮化和其他適合傳遞超低頻（ULF）信號以及高頻耦合的工藝。UL 2604-08L具有安全功能,如緊急停止按鈕和自動安全裝置。機器還包括一個電源監控工具，用於監控功耗，如果功耗超過預設水平，將關閉資產。而且，該車型還配備了防止氣體泄漏的自動清洗設備。其排氣系統有內置過濾器，可減少有害氣體的逸出。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L擴散爐及附件是加工半導體器件的理想選擇。它結合了卓越的工程技術和先進的技術，確保了可靠和高質量的產品。這種擴散爐可以讓用戶實現精確的溫度控制和出色的均勻性，使其成為半導體生產規模加工的理想選擇。