二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10H #61662 待售
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ID: 61662
Furnaces
Cantilever loading system
Pyrogenic gas system
Furnace 1:
Tube 1:
Oxidation process
(5) MFC Gas jungles with SCHUMACHER TSC107 bubbler
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
MFC 3: Low O2
MFC 4: H2
MFC 5: Low N2 for SCHUMACHER Bubbler
H2 O2 Torch
Tube 2:
Oxidation process
(5) MFC Gas jungles with SCHUMACHER TSC107 Bubbler
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
MFC 3: Low O2
MFC 4: H2
MFC 5: Low N2 for SCHUMACHER Bubbler
H2 O2 Torch
Tube 3:
Boron diffusion process
(2) MFC Gas jungles with SCHUMACHER Bubbler TSC107
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
Tube 4:
Sinter process
MFC Gas jungle with SCHUMACHER bubbler TSC107
Furnace 2:
Tube 1:
Drive in process
(5) MFC Gas jungles with SCHUMACHER TSC107 bubbler
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
MFC 3: Low O2
MFC 4: H2
MFC 5: Low N2 for SCHUMACHER bubbler
H2 O2 Torch
Tube 2:
Drive in process
(5) MFC Gas jungles with SCHUMACHER TSC107 bubbler
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
MFC 3: Low O2
MFC 4: H2
MFC 5: Low N2 for SCHUMACHER bubbler
H2 O2 Torch
Tube 3:
Boron diffusion process
(2) MFC Gas jungles with SCHUMACHER bubbler TSC107
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
Tube 4:
Sinter process
MFC Gas jungle with SCHUMACHER bubbler TSC107.
TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10H是一種擴散爐及附件.是一種用於半導體制造的先進工具。用於在各種基板上生長薄膜和塗層，如金屬化、電介質和金屬鍍層。TEL UL 2604-10H擴散爐是TEL的頂級產品.它設有10個供暖區，目前市場上可用於生產質量的薄膜沈積的溫度等級最高。該產品的最高工藝溫度為2600°C，支持高達30千瓦的功率水平。TOKYO ELECTRON UL 2604-10H還提供各種控制選項，便於精確控制材料的生長和沈積。這包括Pt 100電阻溫度計控制，以及過溫保護。這樣可以確保快速高效地糾正因溫度過高而導致的任何過程錯誤。UL 2604-10H采用雙鍛造SILTECH Cu@@-Mo@@-Cr熔爐和超大型工作室。這允許了一個更大的沈積面積，允許用戶達到優越的膜沈積均勻性。除了高性能外，TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10H也令人難以置信的可靠和安全。該爐設有專有的安全設備，用於監控和保護爐子免受過程和安全故障的影響。爐子也防塵，系統內部殘留粉塵顆粒，防止粉塵和有害溶劑進入室內。TEL UL 2604-10H還配備了多種配件，包括石英crucibles、C4超清潔處理模塊和真空裝置。這允許用戶定制處理設備和組件，以滿足其流程的特定需求。總體而言，TOKYO ELECTRON的TOKYO ELECTRON UL 2604-10H是一款頂級熱沈積機，設計符合質量和性能的最高標準。這種擴散爐和附件具有令人印象深刻的溫度、功率和控制能力,以及各種附件和安全特性,非常適合各種半導體、微加工和薄膜沈積應用。
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