二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10H #9148349 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10H是為開發集成電路材料和組件而設計的擴散爐及附件封裝。適用於多種薄膜沈積材料，包括金屬、氧化物、氮化物。這個全面的軟件包包括一個大型機、一個風冷大型機、一個燃氣櫃以及各種工藝組件,如氣泡、溫度控制器以及薄膜處理所必需的一些附加組件。大型機是為高性能薄膜處理而創建的,它提供了工作模擬的靈活性和處理復雜過程所需的專業水平。其設計方便用戶，既可實現高速運行，又易於維護。其高速加熱冷卻系統采用紅外陶瓷加熱元件，可以非常精確地控制溫度範圍。風冷主機裝有溫度控制器，使溫度可達到400 °C；以及Vycor窗口隔離器,它允許在高溫過程中不受阻礙地查看工藝室。煤氣櫃提供了一個適合連接初級工藝部件的環境，同時保持安全、受控的氣氛；包括質量流控制器、壓力傳感器和泄漏檢測器。此外，包裝還包含底物裝卸所需的部件；例如機械真空泵、氣閥和動力基座。包裝包括各種各樣的周邊組件和配件；如氣泡艙、石英容器、溫度傳感器、法蘭、N2凈化袋、粘合鏈、鋁絕緣等。另外，特殊膠片，包括金剛石膠片、金膜和鈦膜，可以生長在各種基質上。TEL UL 2604-10H軟件包是一個一站式解決方案,可滿足創新的薄膜沈積需求,為用戶提供靈活和專業的處理復雜過程的信心。該軟件包獨特的設計和高級功能使其成為在各種應用程序中實現高質量結果的寶貴工具。