二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10H #9350447 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10H是為Epi、離子植入、氧化、升華和熱機械過程等復雜過程而設計的高性能擴散爐及配件。該單元具有10英寸和16英寸兩種尺寸的多功能垂直或水平設計。10英寸模型最適合短時間過程,如熱處理或快速氧化,而16英寸模型更適合大規模的過程。TEL UL 2604-10H是為了即使在高溫下也能保持嚴密控制的氣氛，以及精確的溫度控制和均勻的加熱。它采用了先進的材料和部件，實現了可靠、高精度、長期穩定的性能，內置了效率最大化的熱反射和排氣設備。在UL 2604的中心是一個TEL測溫系統，提供精確的溫度控制高達1600°C。TOKYO ELECTRON PYRAMETRY單元包含了自動測量熱處理物體的熱特性、均勻加熱速率的均勻加熱算法、可調加熱時間等多項特性。為了安全起見，TOKYO ELECTRON UL 2604-10H有一個厚壁石英外殼，設計用來承受高溫和氣壓，並盡量減少輻射泄漏。此外，還使用一個裝有多種化學物質的高純度陶瓷管填充腔室，提供惰性氣氛。UL 2604-10H配備了方便先進的功能。它有一個用於高溫過程的長過程窗口，一個可用於精確調節大氣的氣體控制，一個用於緊急關機的關機，以及一個在整個腔室內部保持清潔、均勻溫度的耐腐蝕真空工具。除了這些特性外，TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10H還包括多個附件，如熱電偶、氣體閥和保護罩。它還配有多種可選配件，包括一套額外的加熱元件、一個粒子過濾器和一個旋轉驅動機構。TEL UL 2604-10H是需要高性能擴散爐和附件的用戶的絕佳選擇。憑借先進的溫度控制、均勻的加熱、安全的特點、便捷的配件，是市場上最好的產品之一。