二手 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10HL #293595280 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10HL是為先進半導體器件制造、MEMS （Micro-Electro-Mechanical Systems）器件制造、通用先進材料加工等應用而設計的擴散爐及附件包。TEL UL 2604-10HL為高級精密溫度處理提供了無與倫比的熱均勻性和控制性能。TOKYO ELECTRON UL 2604-10HL的基本構型包括單晶圓工藝室、工藝-氣體控制設備、可調高密度磁化器支撐組件。單晶片工藝室由石墨和相容鋁合金構成，具有較高的溫度均勻性。它設有一個用於裝卸樣品的裝卸門，以及一個可達到2600 °C溫度的綜合加工室加熱器。工藝-氣體控制系統可實現精確的溫度調節和大氣控制，確保清潔可靠的工藝條件。可調的高密度磁感器支撐組件提供精確、可重復的樣品加載和定位。UL 2604-10HL還帶有幾個附件組件。它包括一個高精度的熱電偶、一個石英氣體入口歧管和一個石英工藝淋浴頭。高精度熱電偶設計為提供精確的溫度測量，而石英氣體入口歧管則可實現精確的氣流控制並確保清潔操作。石英工藝淋浴臺是為工藝均勻性而設計的，能夠對樣品進行精確的熱控制。TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10HL具有直觀的用戶友好界面,包括多個安全功能,包括緊急停止按鈕和過溫保護單元。該爐還包括一臺數據記錄機，該機存儲流程參數，並使用戶能夠從早期運行中輕松檢查流程條件。所有這些特性使得TEL UL 2604-10HL先進半導體和MEMS器件制造和一般先進材料加工的理想工具。