二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080 #9068938 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080是一種高端擴散爐及相關配件。其主要特點是整個燃燒室具有較大的均勻溫度剖面，允許在加工過程中對基板溫度進行精確的溫度控制。溫度範圍為0°至1000 °C，溫度剖面的均勻性為+/-1 °C。對流風扇具有很強的正壓，允許熱量在整個腔室均勻分布。風扇可以在兩個方向上進行調節,從而實現流量和溫度均勻的擴散過程。擴散爐還裝有惰性氣體註入系統，使惰性氣體均勻循環，有助於保持底物濃度的均勻性。擴散室用加熱器板封閉並保護內部，以便有效地分配熱量。溫度控制系統設計效率高，可調，以適應廣泛的應用。可編程控制器功能為設置處理運行提供了方便和靈活性。TEL UX-1080擴散爐還具有強大的軟件包,可用於計算機監控處理。圖形用戶界面使得各種變量的控制和監控變得容易。可以設置一系列功能，包括能夠直接調節燒制溫度、設置坡道速率、停留時間和基板溫度。最後，TOKYO ELECTRON UX-1080擴散爐附有多種輔助元件。其中包括光譜發射監測器和自動消聲器，以便於進入腔室和基板。該爐還與其他一些配件兼容，如氣體和液體流量計。它們旨在提供高質量的結果。總之,UX-1080擴散爐及其附件是生產線加工系統的頂端.其寬廣的溫度範圍和整個腔室溫度分布的均勻性使其適合多種擴散過程。用戶友好的軟件包和外圍組件使其成為任何研究和生產環境的絕佳選擇。