二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080 #9269424 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080是專門為制造晶體管、集成電路等專用電子元件而設計的高品質擴散爐。它采用熱技術的組合,特別是快速熱退火(RTA),以實現高質量的彌散結,並具有各種各樣的特點,使其對於那些需要高端半導體制造設備的人是可取的。爐子本身是用鋼制外殼建造的。它具有一個大的石英加熱管,內部將熱能傳遞到內部部件,確保所有部件均勻加熱。管內溫度由高溫計監測。為確保零件處理的安全和穩定環境,爐子設有若幹安全報警器和緊急停止開關,並由綜合控制系統進行監控。TEL UX-1080常與金屬前擴散(PMD)或蒸氣相外延(VPE)處理結合使用,形成復合結。這是由於設備提供了更高的熱功率,從而允許更快的處理時間。此外,還可以通過載氣將雜質或同位素引入結合處,從而產生電性能得到改善的組分。TOKYO ELECTRON UX-1080的設計確保了該過程是可重復和一致的,即使在長時間處理大批量零件時也是如此。將爐溫控制到+/-0.5°C的能力,加上載荷鎖室、樣品架和石英管保護器等廣泛的附件,意味著它適用於種類繁多的不同電子工藝。總體而言,UX-1080是一個強大的擴散爐,能夠為各種不同的電子應用生產高精度元件,是半導體制造設施的寶貴資產。以其高品質的結構,各種安全特性和廣泛的配件,以效率和可靠性著稱。
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