二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080 #9276695 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080是一種擴散爐及其附件，用於磷和砷等摻雜劑的均勻擴散，以制備用於半導體等器件的高速器件結構。它是為優越的基板均勻性和高通量而設計的，因為該爐能夠同時沈積多達30組200毫米晶圓。它還提供了良好的工藝均勻性，從開始到結束的爐。TEL UX-1080設有水平定位的加長船轉爐。它采用氣動加速機構設計，能夠使船快速加速減速，減少轉移晶圓所需的時間。此外，頂部表面室提供加熱對流與均勻，高速水平運動，允許均勻加熱整個過程。東京電子UX-1080的擴散過程包括預熱、反應和冷卻三個階段。預熱級采用可編程加熱滾筒，確保晶圓表面溫度均勻，通量高。反應級設有感應加熱系統，實現晶圓溫度快速升高，溫度均勻性優良，積極影響擴散均勻性。在冷卻階段，一個新開發的「快速冷卻系統」提供了極好的冷卻均勻性，盡管由於熔爐中的熱梯度最小化，吞吐量很高。此外，UX-1080適用於各種應用，如擴散鍵合、柵極氧化、矽化物和選擇性氧化技術。它還配備了冷卻系統，使晶片的退火後無需單獨的冷卻室。當高速半導體器件需要快速熱穩定時,此功能特別有用。TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080擴散爐是生產小型高頻半導體產品的理想選擇。其穩健的設計、統一的工藝控制、低散熱、高速運行，使其成為大規模生產的誘人選擇，提供卓越的質量控制和可重復的效果。