二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP #9148199 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP是為半導體器件制造而設計的擴散爐和相關附件套件。TEL UX-1190-4TP是一種立式管式爐,具有專利旋轉晶圓平臺,允許長時間均勻加熱。此功能旨在縮短加工時間並提高與制造高質量半導體器件相關的效率。TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP由一個30kW電源提供動力,包括一個多區爐殼,內襯厚厚的絕緣材料,在生產過程中均勻統一的溫度控制。先進的可編程邏輯控制器設備允許精確的操作和溫度控制,以確保產品質量可靠。UX-1190-4TP具有高達1200攝氏度的溫度範圍,足以滿足大多數半導體器件制造工藝的需要。該爐設計為與各種配件結合使用,包括用於提高工藝穩定性的背面冷卻系統、晶圓位置傳感器以及用於優越產品質量和安全的大氣監測系統。此外,TEL/TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP的設計與標準的環境控制系統兼容,使其能夠連接到其他熔爐部件,以便在高溫環境中平穩運行。TEL UX-1190-4TP的設計考慮了耐用性和維護。堅固的結構保證了長期耐用,因為它的重型結構和先進的絕緣材料。該爐還包括一個維護系統,使操作員能夠方便地監測各種關鍵部件和系統,以獲得最佳性能。內置維護單元將對出現的任何問題發出警報,使操作員有機會在對設備或任何相關部件造成潛在損壞之前捕獲和修復任何故障。總體而言,TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP是一款高端擴散爐及相關配件套件,旨在生產加工時間減少的優質產品。UX-1190-4TP擁有多區域供暖制冷選項、先進的環境控制、精細的維修機器,是制造半導體等高端器件的理想工具。
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