二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #293819010 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是一種先進的擴散爐及配件設備,具有高性能,是許多制造應用的理想選擇。它具有標準的陶瓷敏感板，並具有高溫評級，使其適合半導體行業的通用熱工藝。該爐的最高溫度可達1150 °C，確保在氫氣或氮氣環境下具有可靠和可重復的性能。TEL UX-11P10-4HT具有堅固的結構和一系列功能,可確保可靠的運行和長期一致的性能。它有一個分區供暖系統，有4個獨立可控的供暖區，可以在更短的時間內實現高溫。該爐還設有冷卻裝置，可快速冷卻腔室和感應板，以便在達到所需溫度後立即進行進一步處理。它有一個1000 W/cm2輻射紅外CVD加熱元件，允許一個一致的加熱過程和高水平的過程控制。爐子的溫度均勻度± 3°C,超過100-280mm直徑的晶圓,允許在一系列基材上進行均勻的熱處理。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT還包括一系列工藝選項,以確保預定產品的最佳性能。它有多種流量控制選項，用於在反應室內施用氣體，包括質量流量控制器、MFC和IFAC夾具，以確保整個過程的濃度準確。該爐還能夠在低壓環境中運行，低壓選項可使用高達0.1毫巴。該機還具有射頻電源，使諸如等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）等工藝能夠在爐子環境中進行。爐子配有集成控制器，使用戶能夠精確控制溫度和監測趨勢，以確保整個過程的最高性能水平。由於其堅固的結構和可靠的性能,UX-11P10-4HT是各種制造工藝的理想選擇。它具有廣泛的工藝選擇、集成控制器和高溫等級,是滿足任何生產需求的絕佳選擇。