二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198280 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是一種擴散爐及附件，設計用於高通量半導體晶圓工藝操作。適用於生產和研究應用，從散裝矽氧化到高性能材料加工。TEL UX-11P10-4HT是一種單晶片水平擴散爐，可同時處理多達四個直徑8英寸的晶片或兩個12英寸的晶片。設備采用模塊化設計，主要部件為晶圓座、加熱器、氣體分配系統、電源、排氣單元和反應性氣體控制單元。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT的晶圓支架具有磁感器、陶瓷介電加熱器和動力提升機構。感光器加熱器有一個AlTiC塗層來改善熱均勻性，這使得在擴散過程中整個晶片表面的溫度均勻性得以提高。動力提升機構允許在垂直Z軸方向上微調加熱器和磁感器。UX-11P10-4HT的氣體分配機由氣體面板、流量計和氣體管線組成，用於引入晶圓加工過程中所需的氣體。該工具的電源由交流發電機和直流電源組成，它們為爐子的加熱階段提供所需的電力。TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT的排氣資產被設計用來抽取晶圓加工過程中產生的氣體，並提供高的排氣效率。模型的氣體控制單元包含必要的組件，以便在適當的時刻註入所需數量的氣體，以達到工藝要求。總之，TEL UX-11P10-4HT是一種高通量擴散爐，設計用於處理半導體過程操作，具有令人印象深刻的控制和效率水平。其組件的模塊化設計使得它容易融入現有的工藝流程，其敏感器加熱器和氣體控制單元允許精確的溫度和氣體管理。得益於這些特點，TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT已成為半導體行業生產和研究應用的可靠且經濟實惠的選擇。