二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198282 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是為內存制造應用而設計的先進擴散爐及附件。它具有一個纖薄的腔室和先進的溫度控制精確和可重復的處理。擴散爐配有內置的寬範圍溫度傳感器，確保對高達1100 °C的工藝溫度進行精確控制。其用戶友好的多點觸控液晶面板使設置和控制多達四個不同的加熱/冷卻區域成為一種微風。TEL UX-11P10-4HT還提供了廣泛的管材選擇，允許用戶根據自己的具體應用量身定制設備。爐子的可選配件包括一個4向氣體流量計，控制單一工藝氣體的流動，以及一個晶片加熱器，以提高均勻性。如果需要,可以在系統中添加一個額外的現成自動流量控制器,以進一步控制多個工藝氣體。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT有一個可選的旋轉機構，它允許爐底通過一定角度的範圍旋轉，使得它非常適合分裂晶圓。該腔室還設有一個可移動的石墨敏感器，完全可以加工到所需的輪廓。這增加了配方的靈活性，減少了晶圓旋轉過程中的邊緣效應峰值。UX-11P10-4HT非常可靠，易於使用。其監控系統可以在流程中斷發生前檢測到，在異常情況下自動關閉所有電源。該系統在清潔、可靠220V單相電源上運行,設計最大電流為12A。TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT為cULus、CE、SGS批準，符合歐洲最高安全標準。為了防止腐蝕和室內腐蝕，該系統采用了氧化膜塗層。這些特點使得這種擴散爐和附件包裝成為內存制造應用的理想選擇。