二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198284 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是半導體工業中使用的擴散爐及配套配件。用於允許植入氣體擴散到矽片中。TEL UX-11P10-4HT是一種擴散爐，設計有單晶片載荷鎖室，允許快速進入，並能夠在一個循環中處理多個晶片。外部尺寸為1130mm （W） x 980mm （D） x 1985mm （H），標準最高工藝溫度為1100 °C （2000 °F）。該爐采用先進的POCVD（等離子體增強型化學氣相沈積）技術進行最佳溫度控制和相對較低的熱阻。隨附的軟件非常先進，能夠精確控制擴散過程參數。操作可從室外監控，設計方便與其他自動化設備集成。除了擴散爐外，其附帶的全套配件還包括一個模塊化氣體箱系統，該系統允許安全處理和供應各種氣體和材料。它配有熱電偶界面，允許用戶實時監控過程。所提供的電源能夠將4KW送入腔室。提供了一種先進的雙波形射頻發電機，以確保腔室的最佳電離。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT的擴散爐設計方便快捷。它配備了安裝在腔蓋上的可移動歧管，以及在工藝腔室的擴散區域提供恒定溫度的溫度控制系統。腔室可以在不同的大氣中操作，包括氦氣、氙氣和氮氣。總體而言，UX-11P10-4HT是為半導體工業設計的先進高效的擴散爐系統。配備了隨附的配件和軟件，滿足了標準擴散過程的所有需求。它的設計考慮到了可靠性和安全性，確保了用戶在流程中的安心和優異的效果。