二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198285 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT
ID: 9198285
晶圓大小: 6"
Horizontal furnace, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是一種擴散爐儀器和隨附的附件包,設計用於半導體制造、太陽能電池研究和其他易碎敏感材料研究等領域的廣泛應用。這種特殊的裝置是一種水平平行板、四區爐,設計用於真空環境中的高效熱處理,具有廣泛的工藝氣體控制。在每個區域放置多組上下電極,以確保材料加熱到所需溫度時的均勻溫度。這些電極連接到電子電源系統,允許精確控制電流和電壓電平。這種配置還允許在爐子的使用方式上有更大的靈活性;爐子的四個區域可以運行獨立的程序,每個程序的溫度是分開的。爐膛本身是為了一個高效的傳熱而設計的,有一個大批量生產的拉環石墨結構優化以吸收和傳遞能量。熱區設計采用全臉帽形狀均勻加熱,采用雙增強氮化硼絕緣,確保爐頂至爐底溫度均勻均勻。整個系統安裝在1級真空容器上,為低壓處理創造了適當的環境。軟件包還包括編程附件,允許精確調整溫度和其他參數。EasyGap軟件包使編程更加高效和易於使用。此軟件包包括基於參數的設置,為實驗者提供了更大的靈活性。用戶可以控制真空壓力、斜坡、溫度傳感器位置、冷卻速度等多個參數。最後,包裝包括各種傳感器,用於監測擴散過程期間和之後的過程參數。這些傳感器的範圍從氧氣和氫氣壓力傳感器、溫度傳感器和發射傳感器。使用這些傳感器,用戶可以跟蹤和記錄擴散過程中的過程條件和進度。總體而言,TEL UX-11P10-4HT擴散爐和附件包裝為精確高效的熱處理和研究提供了捆綁解決方案。憑借其全面的硬件和軟件包,能夠準確可靠地處理最精致、最敏感的材料。
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