二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198286 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是一種先進的集成式擴散爐及附件設備,可為各種應用提供精確的熱處理能力。這種多邊形頂部裝載裝置由不銹鋼部件構成，具有三區安全殼，具有密封門機構，以確保最大程度的過程重復性和安全性。該系統由一個單區四室陣列發揮作用，該陣列在兩個相對的側面有直接加熱元件，並有一個基於專利「箭頭」熱擴散設計的中心元件。擴散細胞的活動區域包括一個熱區、暖區和冷區，每個都有獨立的溫度控制，最高溫度為1150 °C。TiN球面工藝站適合均勻擴散過程，為工業特有的氧化過程和其他氣體提供靈活可靠的解決方案。配備原位發射率監測，TEL UX-11P10-4HT在擴散細胞內提供卓越的溫度均勻性和穩定性。板載分析工具可通過氣體和溫度測量對過程進行實時監測。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT的附加功能包括帶有卡式轉接器板的自動晶片卡式製程、全封閉的活性氣淋浴、組合的負載鎖/腔室卸載單元，以及多重快速熱處理能力。此外，該機器還配備了內置的、低調的氣體輸送工具，以提供一致的加工氣體供應。該資產還配備了一些用戶友好的增強功能,例如易於訪問的維護模型和數字溫度讀出顯示器,以及用於分析和跟蹤的直觀過程軟件設備。綜上所述，UX-11P10-4HT是一個先進的、集成的擴散爐及附件系統，具有各種應用的精確熱處理能力。其密封門機構、三區安全殼、原位發射率監測，在加工單元內提供了優越的溫度均勻性和穩定性。TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT具有自動晶片盒工藝和多種快速熱工藝功能,其功能包裝設計非常適合提供一致的工藝氣體供應和方便用戶使用的增強功能。