二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198290 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT
ID: 9198290
晶圓大小: 6"
Horizontal furnace, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT模型是一種用於工業和實驗室應用的擴散爐,用於多種材料。這類爐最適合退火、摻雜和涉及矽、氮化物和氮化鋁的氧化過程。該爐允許用戶設置溫度、時間、壓力、排放電流和氣體流速。TEL UX-11P10-4HT模型采用了最新的電子設備.它采用先進的熱設計,垂直深度為11.7英寸,允許均勻加熱。爐子還裝有內部石英棒,將產生的熱量均勻地分布在整個腔室,確保所需的溫度在各種過程中均勻。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT允許快速加熱和冷卻速率,從90℃到1300℃的寬溫操作範圍,以及1400℃的最高溫度操作範圍。它是為高效換熱而設計的,並通過適當的熱傳感器對溫度的精確檢測和控制進行了優化。該爐配備了包括壓力、氣流和發射電流在內的各種傳感器,因此可以安裝額外的附件,為正在處理的特定材料定制不同的工藝。此外,不銹鋼腔室提供了出色的耐腐蝕性和材料在加工過程中所需的保護。UX-11P10-4HT還包括一個額外的樣品冷卻組件。該組件利用冷卻技術和加熱器為熱處理過程提供更長的樣品停留時間。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT擴散爐提供了一系列功能,包括快速加熱和冷卻速率、寬廣的溫度操作範圍、耐腐蝕性和樣品冷卻組件,以提供用戶在各種過程中的靈活性。因此,這種模式非常適合實驗室和工業應用。
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