二手 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9377249 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT
ID: 9377249
晶圓大小: 6"
Horizontal furnaces, 6" Gases: H2, O2, N2.
TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是設計用於各種半導體應用的高端擴散爐及相關配件。完整的設備設有擴散主機、多用戶盒式磁帶托盤、盒式磁帶襯裏、溫度傳感器和溫度控制器。擴散大型機是一個8插槽平臺,設計用來容納多達8個大小為248mm的盒式磁帶,這些盒式磁帶直接放置在大型機的插槽中,並使用特殊夾具固定。盒式磁帶托盤是一個多用戶系統,設計可容納多達8個大小各異的盒式磁帶。盒式襯裏有助於均勻的熱量分布,防止氧化和促進溫度均勻.這與特殊夾具相結合,可確保整個設備的溫度均勻,從而使機器的所有組件在可接受的誤差範圍內達到一致的溫度。用於TEL UX-11P10-4HT的溫度控制器設計用於整個工具中所有輔助功能的精確溫度控制和控制,並針對所有基本功能中溫度設置點和變化速度的精確控制進行了優化。它能夠控制室溫和1250°C之間的溫度。溫度控制可以通過三種不同的範圍來實現-高範圍(最高550C)、中範圍(最高450C和更低)和低範圍(最低350C和更低)。溫度控制器連接到多個溫度傳感器,以監控整個資產的溫度,以獲得準確和詳細的溫度讀數。總體而言,TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT是一種先進的擴散爐及配件模型,旨在為半導體器件提供精確的溫度控制和加工原料。采用專用夾具、多用戶盒式托盤、溫度控制器,對設備進行優化,確保高端半導體器件的最佳運行和產量。
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