二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293591401 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S是專門為滿足半導體產業需求而設計的擴散爐及配件。該爐配有先進的控制系統和高效的爐件,非常適合生產高質量的半導體部件。TEL VCF-615S采用雙夾套,四區,多晶矽加熱石英管先進的溫度控制。該爐的溫度範圍為1000 °C至1100 °C,可在+/-1 °C的精度範圍內進行控制。此外,該管被高效石英墻包圍,可實現無縫絕緣,確保其表面的高溫均勻性和可重復性。TOKYO ELECTRON VCF 615S設計具有超溫保護、壓力控制系統和部分封閉的化學氣氛等先進的安全特性。此外,它還具有各種增強性能的附件,包括石英船、蒸發櫃和化學氣相沈積(CVD)系統。TOKYO ELECTRON VCF-615S非常適合擴散、退火、CVD等過程。它為提高流程可重復性、產品質量和成本競爭力提供了高效靈活的平臺。此外,三室設計允許快速安裝和調試以及降低功耗。VCF 615S是在半導體和液晶行業要求苛刻的應用的理想選擇。它是一種極其可靠的擴散爐和配件,提供了高品質和經濟高效生產的完美結合。
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