二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293596062 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S是用於半導體材料和器件研發的擴散爐及相關配件。它是一款功能齊全的設備，能夠承受0到16V的高壓範圍，獨特的自動控制功能保證了最佳的增長質量和可重復性。對於高頻、低功率CMOS集成、薄膜晶體管、熱電器件、基於MEMS和NEMS的器件等先進半導體材料，以及高溫超導體等新型電子材料的開發都非常出色。TEL VCF-615S是一個單室，自動測繪爐（AMF），具有創新的設計，允許具有最小空隙和缺陷閉合層的均勻生長。其苗條、低調的設計有助於縮短裝卸時間和維護操作。該系統采用先進的供暖和制冷技術，以每分鐘40°C的速度實現高達1100°C的可靠均勻處理溫度。它能夠控制真空室內的溫度和壓力，也能控制反應熔石的壓力和位置。此外，TOKYO ELECTRON VCF 615S的獨特之處之一是它的多輸入電源，0.5V步可調節電流和電壓從0到16V。這允許自定義增長參數,例如溫度、功率和優化增長條件的時間。TEL/TOKYO ELECTRON VCF 615S具有垂直和橫向生長的能力，是研究開發氮化物材料的LED和激光二極管以及開發基於GaN和AlGaN的垂直晶體管的理想工具。該單元狂熱地配置了最新的自動化和手動控制器，提供了多級訪問和控制機器，讓研究人員能夠監控和控制過程的條件和參數。它還配備了許多視覺和可聽到的警報和通信網絡，有助於跟蹤制造過程。TOKYO ELECTRON VCF-615S還配有多種配件，包括用於溫度測量的高溫計、氣體流量計、氣體混合器、用於精確電壓和電流讀數的離子易貨器以及壓力控制器。這樣可以精確控制腔室壓力，確保層間均勻生長，防止空隙和缺陷的形成。此外，VCF 615S的溫度均勻度± 2°C，壓力均勻度± 1 mBar。綜上所述，VCF-615S是為研發先進半導體材料和器件而設計的先進可靠的擴散爐及相關配件。它提供無與倫比的精確控制和可重復性,幫助工程師和科學家開發可靠和高性能的產品。