二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293747356 待售

TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S
ID: 293747356
晶圓大小: 6"
優質的: 1992
Diffusion furnace, 6" 1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S是一種最先進的擴散爐及附件封裝,非常適合最大限度地提高微電子器件的生產效率。它配備了先進的溫度調節和控制功能,以及各種功能增強功能,以幫助確保一致、可靠的性能。TEL VCF-615S包括一個具有優質鹵化物加熱元件的高調擴散爐和一個耐用、耐腐蝕的粉末塗層工藝室,可在清潔、可靠的環境中重復晶體生長。該腔室具有200至1100 °C的廣泛溫度範圍,僅用6分鐘即可達到加工速率。在溫度控制方面,TOKYO ELECTRON VCF 615S配備了精確的PID溫度調節和控制設備,以及精確的數字調節熱電冷卻/加熱系統。這種技術的組合保證了每個擴散應用的可重復結果,即使在最極端的溫度下也是如此。VCF-615S還包括其他附件,如行業領先的LINACTIRIS o MgO(氧化鎂上的氧化鋰鋰酸酯)敏感劑和各種各樣的替代配件。這種多功能擴散爐封裝非常適合最苛刻的工業和實驗室應用,如燒結磁體系統、器件封裝和專門的材料研究。此外,TEL VCF 615S還提供高級流程監控和數據收集單元功能。它配備了圖形觸摸屏顯示屏,可確保遠程監控和操作,以及強大的數據存儲和趨勢處理功能。這種可自定義的界面使操作員能夠快速訪問數據,並在每個熔爐周期內變化時輕松可視化擴散過程參數。為了保持進程平穩運行,VCF 615S甚至包含一臺高級故障檢測和預防機器,以提醒操作員潛在的性能問題。TOKYO ELECTRON VCF-615S是實現微電子和設備制造應用安全、可重復結果的理想解決方案。這套完整的擴散爐套件提供業界領先的性能、溫度調節和控制,以及一套全面的功能,以最大限度地提高效率和可靠性。
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