二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293747447 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S是一種擴散爐和附件，用於制造半導體器件的工業過程，如計算機芯片、太陽能電池和晶體管的器件。擴散爐采用熱擴散工藝來摻雜生產所需的不同元素（主要是硼和磷）的半導體基板。這是一種石英加工管，長度為1600毫米，寬度為166毫米，能夠在1250攝氏度的最高溫度下工作，用於植入、擴散、退火和熱氧化的過程。TEL VCF-615S擴散爐提供的高熱慣性使其成為微型部件高電流制造的理想小型化設備。擴散爐的有效性不僅在於它的高熱慣性，而且在於它的精度和可靠性，以及它的低單位成本。它還在溫度均勻性、高加熱速率和精確快速設置溫度方面提供了最大程度的工藝控制。該爐還配有能夠主動調節工藝溫度的熱電偶系統、用於擴散時間和速率的全系列控制系統以及集成的背景氣體（Ar和H2）。此外，其氣體測量裝置還配備了安全功能，以防止加工管受到汙染，並避免機器中任何有害氣體含量的增加。此外，TOKYO ELECTRON VCF 615S提供集成的通風孔，確保過程氣體迅速散布，避免危險的積聚水平。該單元具有三層Ni-Pt絕緣鋁制腔室，保護層腔室可隨時提供安全保護。該爐還能保證耐高溫和耐熱沖擊.此外，石英室具有表面光潔度，確保良好的模塊接觸。TEL/TOKYO ELECTRON VCF 615S擴散爐及其附件是一種可靠和堅固的裝置，能夠有效和準確地摻雜制造半導體器件所需的不同元素。配備了熱電偶系統、控制系統、背景氣體、工藝氣體、保護層腔室、Ni-Pt絕緣鋁室等多種特性，這款擴散爐為半導體的產生提供了強大可靠的解決方案。