二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293749172 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S是一種擴散爐及附件包裝。它包括一個垂直分裂設計的爐設備，這提供了提高效率和消除需要重新校準的爐。它還包括用於擴散過程的高精度立式分離爐和晶圓堆叠、穿梭、耐火殼、石英船等附加配件。這種擴散爐系統有兩個主要組成部分：垂直分離爐和相關附件。該爐提供了高等級的表面處理溫度，允許使用多種材料進行高效和精確的擴散過程。該爐鑄造尺寸從150毫米到200毫米不等，最高溫度為1100 °C。它有一個簡單的流程控制單元和一個LED顯示屏,用戶可以輕松配置和監視流程設置。除了垂直分離爐，TEL VCF-615S還包括一些附件，提供額外的功能。晶圓堆叠元件允許多層晶圓基板同時擴散。穿梭組件使熔爐能夠與工藝室斷開連接，並移動到另一個晶圓加工站。耐火殼和石英船在擴散過程中固定基板，並盡量減少來自外部來源的汙染。TOKYO ELECTRON VCF 615S是一種高效可靠的擴散爐機器，專為廣泛的工業應用而設計。它具有高溫表面處理、精確的溫度控制以及多種配件，具有極致的加工靈活性。采用簡化的過程控制工具和用戶友好的LED顯示屏，這種擴散爐資產非常適合任何試圖優化其擴散過程並最大限度地提高其性能的環境。