二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #9068949 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S擴散爐是一種先進的數控裝置，專為廣泛的擴散應用而設計。擴散爐使用戶能夠通過受控溫度設置和晶圓兩側的均勻加熱來實現快速處理時間。TEL VCF-615S的建立是為了提供高達999 °C的均勻分布的熱量，這使得它成為陽極鍵合、擴散應用和真空退火的絕佳選擇。TOKYO ELECTRON VCF 615S包括一個基於WINDOWS的控制單元、一個爐，以及法蘭加熱器、加熱器門和一個可信的TEL電腦設備等附件。基於WINDOWS的控制單元是一個易於使用的過程控制系統，可用於自定義過程配方。該面板使用戶能夠在整個擴散過程中觀察溫度、過程時間、加熱階段和真空條件。爐子由通過加熱陶瓷管連接的上下腔室組成。加熱元件位於上腔。為確保溫度均勻，上下室定期調整至相同溫度。對於多晶片系統,以不規則的間隔安裝特殊的熱屏障,以創建橫跨晶片表面的溫度剖面。加熱器門可通向上室，法蘭加熱器有助於在整個擴散過程中保持均勻的溫度。可信的TOKYO ELECTRON計算機單元幫助用戶管理擴散爐並控制處理參數。它們為用戶提供了一臺安全的機器,使遠程流程控制和監控系統和流程能夠輕松地從任何位置進行管理。VCF-615S擴散爐是半導體工業先進擴散應用的理想、可靠的解決方案。該設備的獨特功能使用戶能夠通過可信的TEL/TOKYO ELECTRON計算機工具實現更快的過程時間、均勻的溫度和精確的過程管理。