二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #9269439 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S是一種垂直擴散爐，有許多附件，能夠使擴散過程更加精確和高效。它設計用於半導體工業中的氧化、吸氣、沈積和快速熱處理（RTP）等應用。爐子本身是由高質量的部件如不銹鋼熱室制成的。該室配有功能強大的雙區加熱設備，具有用戶可調節的PID溫度控制和0.1℃的加熱精度。腔室也可以傾斜以受益於重力輔助選項，從而在擴散過程中實現最大均勻性。TEL VCF-615S還配備了可容納200毫米晶圓的石英船。這艘船由雙末日門提起，這有助於在這個過程中保持晶片的安全。石英船也可以傾斜到45°，以更好的晶圓冷卻和定位。對於裝卸，TOKYO ELECTRON VCF 615S配備了自動晶片盒穿梭系統。這個PC控制的單元可以將晶片移動到離熱室最遠半米的地方，以減少熱輻射對操作員的影響。穿梭機還允許用戶進行預加載和後加載晶片，以加快加載時間。除了以上所有內容外,TEL VCF 615S還提供了幾種能夠提高性能的配件。其中之一就是擴散監測儀，它實時監測擴散過程，以確保安全性和準確性。顯示器還有一個內置的彩色顯示屏，可用於觀察過程和輸入數據。其他附件如數據記錄器和壓力真空系統可以進一步提高工藝效率。總之，VCF-615S是一個設計精良的垂直擴散爐，它提供了許多特點和附件，以便更有效地使用。爐子和配件的設計都考慮到了安全性和精確度，使其成為半導體應用的絕佳工具。