二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615T #9198250 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615T是一種擴散爐和附件，設計用於滿足半導體行業的各種需求。這是一種先進的熔爐，用來將一層氧化薄膜沈積到基板上。這被稱為氧化，是制造現代半導體芯片的重要步驟。TEL VCF-615T擴散爐能夠在高達1,100 °C的溫度下運行,並且可以在氧化、氮化或僅爐模式下工作。這種多功能性使得它可以在廣泛的應用中使用，從閘門和源/排水擴散到接觸形成等等。TOKYO ELECTRON VCF-615T擴散爐還配備了風冷換熱器，使得利用冷氮輔助冷卻速率成為可能，以取得更好的效果。VCF-615T擴散爐具有多種特點，非常適合半導體工業。該爐設有兩條工藝氣線，允許雙氣體輸出和兩種氣體同時用於需要它的工藝。TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615T還具有自動化功能，具有用戶友好的控制系統，可設置該系統以自動調整爐子設置以達到所需參數，並使爐子保持在指定溫度範圍內運行。TEL VCF-615T擴散爐配備了多項安全功能，如用戶設置的緊急停止按鈕、緊急電源關閉和氣體關閉系統，以及檢測爐子何時達到所需溫度並相應關閉爐子電源的傳感器。總體而言，TOKYO ELECTRON VCF-615T擴散爐是一種高效、用戶友好的系統，其設計采用了該領域最新的技術進步。擁有易於使用的控制系統、通用的溫度範圍和先進的安全特性,VCF-615T是任何半導體制造廠的絕佳選擇。