二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF615C #9137186 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF615C擴散爐及附件是一種專門用於沈積具有精確定位精度和可靠性的平面或非平面結構的工具。這種設備對於半導體的制造和開發特別有用。TEL VCF615C系統包括一個加工室、一個轉移機器人、一個運輸工具和一個增強型基板轉移單元。該工藝室的設計結構有利於處理較大的基板，並提供低汙染水平。轉移機器人配有步進電機和直接驅動機，以確保在腔室和運輸車之間轉移基板的平穩可靠運動。Transporter是一種高速裝載工具，能夠容納大量基板，並提供基板的快速裝卸。最後，ESTS提供了基板的快速和精確的對準。該資產提供多種基材功能,包括尺寸從3英寸到12英寸的晶片,以及金屬箔和磁帶托架。TOKYO ELECTRON VCF615C還提供本地和遠程支持的最佳過程控制。它還與一系列可選功能兼容,例如現場端點檢測和進程參數的實時監控。這些功能通過TEL流程數據分析模型（PDAS）提供。VCF615C還具有許多安全功能以防止故障,包括打開/關閉限位開關和減壓安全系統一旦超過室內正常壓力即啟動。此外,它還具有強大的可編程觸摸屏和可傾斜液晶顯示器,適合人體工程學操作。綜上所述，TEL/TOKYO ELECTRON VCF615C擴散爐及其配件是為平面和非平面結構的高效可靠擴散加工而設計的先進設備。它在清潔、安全的工作環境中提供高吞吐量,具有一系列用於半導體制造和開發的先進基板功能。