二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPR #293666967 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPR，是一種品質擴散爐，設計用於生產具有可靠完整性和完美性能的晶片。它提供了一個高水平的追溯和控制，以適應最超高真空（UHV）應用的需求。TEL VCM-50-003EPR配有外保溫的內壁爐，具有優異的高溫性能。它是為10-10 Torr範圍內的最大真空性能而構建的。該爐的設計保證了在特高壓室內和兩區真空氣氛中均勻的溫度分布，以獲得最佳的氧濃度。設備裝有石英反應管、用於固定反應管的上部壓力穹頂、石英管燃燒器，以及便於進入內部的底座支撐。該爐還包括一個C型敏感器、一個全不銹鋼裝載室和一個門鎖機構。該爐被設計為與多種材料一起使用，包括矽、藍寶石、氮化氙（GaN）以及半導體工業中使用的其他材料。為確保最大性能和可追蹤性,系統中使用的所有材料在使用前都要徹底清潔。而且，對碳氣、氮氣、氯氣等氣體大氣的精確控制，使其成為要求最苛刻的特高壓應用的完美選擇。TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPR還具有可靠的外部冷卻功能,以提高安全性。該裝置配有精心挑選的散熱軟管和這些冷卻部件的貯器。這樣可以確保所有外部隔間保持在安全溫度。為進一步提升安全性，該機還配有帶有附加傳感器的自動監控和報警系統，以確保溫度穩定。綜上所述，VCM-50-003EPR是一種經過半導體行業嘗試和信任的先進擴散爐。它提供了高水平的可追蹤性和控制性，全不銹鋼裝載室，可靠的外部冷卻，以及精心挑選的熱軟管和貯器，以提高安全性。此外，它還具有卓越的真空性能、對氣體大氣的精確控制以及方便的清潔和維護。