二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615 #9226260 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615是用於制造各種器件的先進半導體加工制造工具。它是一個垂直擴散爐（VDF），有一個集成的主動大氣控制設備，VC-ACTS。TEL VDF 615允許精確的過程回火和快速的熱梯度控制。它用於將摻雜劑引入矽晶片，從而實現更高的材料性能和器件性能。爐子裏有一個隔絕的房間，墻壁和底座都是靠環境密封的。這樣可以確保任何空氣或其他汙染物都不會進入腔室，影響過程的純度。房間周圍的絕緣材料有助於保持整個房間的均勻溫度。加熱器元件位於TOKYO ELECTRON VDF 615頂部的盒狀結構中，設計為均勻加熱腔室。這樣可以保證整個系統的溫度均勻。VDF 615還具有被稱為VC-ACTS的主動大氣控制系統。該單元由加熱循環機器和真空泵送機構組成。加熱循環工具將摻雜劑均勻地分配到腔內，而真空泵送裝置則降低了大氣壓。這確保了統一的大氣控制，從而減少了進入室內的汙染物，提高了工藝產量。一個獨立的會計資產，稱為PIII6，被整合到TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615中。此模型跟蹤並存儲計算機中的所有進程參數值。這樣可以方便地比較當前和歷史數據以及有效的內存管理。所有數據可以存儲長達2年，並通過互聯網遠程訪問。TEL VDF 615廣泛應用於半導體行業的各種加工應用。它提供可靠、可重復和準確的性能。集成的主動大氣控制設備和PIII6核算系統使該工具成為半導體行業可靠、用戶友好的選擇。這種擴散爐是為生產高質量的產品而設計的，它對大氣的持續控制提供了一致的結果。