二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #176607 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615S是一種擴散爐和附件，設計用於生產高度可靠的集成電路設備。這種最先進的設備能夠高效地進行快速的熱氧化和加工。該爐提供了極好的熱均勻性，最小的溫度梯度，以及對溫度變化非常快速的反應。TEL VDF 615S是一個先進的垂直熱處理室，具有五個不同的固定式加熱器，加上一個可選的可移動蓋系統。加熱器采用感應耦合等離子體（ICP）作為熱源，因此可以實現可靠和準確的溫度控制。此外，由於ICP腔室設計為提供定向輻射，晶片的溫度可以在多晶矽層氧化過程中精確控制，這是晶片暴露於高溫時發生的過程。該爐采用了一種纖薄、高度均勻的熱屏障，能夠在整個晶片上均勻分布溫度。這導致了一個高效的熱擴散過程，甚至整個晶片的加熱，這可以根據期望的結果進行調整。其結果是整個晶片的溫度非常均勻，確保了最低溫度梯度和總體的高可靠性。TOKYO ELECTRON VDF 615S的其他功能包括固態控制器、觸摸感應視覺顯示器、雙層不銹鋼結構、水冷軸和監控系統。空氣供應系統也升級到新SS-C-V-1，對溫度變化作出快速反應，並獲得無危險氣體認證。VDF 615S自1990年代初起成為TEL擴散爐管線的一部分，並被廣泛用作生產可靠集成電路的行業標準。它旨在超過所有溫度均勻性要求,並在處理過程中最小化溫度梯度。憑借其先進的技術，為IC生產提供可靠、快速、高效的性能。