二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #293637195 待售

TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S
ID: 293637195
晶圓大小: 8"
優質的: 2005
Diffusion furnace, 8" Chamber 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S是TEL(TOKYO ELECTRON)設計制造的擴散爐及配件設備。它設計用於金屬的高效擴散以及熱處理和高溫退火應用。TEL VDF-615S的工作原理是將樣品加熱到預定溫度,並將原子從樣品擴散到大氣中。它配備了使它成為一個非常通用的系統的特點,比如它的6區帶驅動腔室,可編程的原子源供應,以及石墨和膦加熱元件。TOKYO ELECTRON VDF-615S單元由高質量的組件構成,提供準確可靠的性能。6區帶驅動腔室具有良好的均勻性和可重復性,而可編程的原子源供應保證了適當的氣體流量和持續時間。石墨和銨加熱元件確保整個腔室的溫度控制均勻,並允許精確的溫度選擇。VDF-615S還提供了多種安全功能,例如過溫保護機和用於防火的電熱插頭。此外,TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S配備了數字控制器,可以進行精確的溫度和功率控制。此工具還具有自動溫度切除和低溫關機功能,有助於保護組件免受熱損壞。TEL VDF-615S還包括可用於優化擴散爐性能的多種配件。這些配件包括一個可選的工作箱、一個裝載站、煤氣板、熱電偶、crucibles和一個輸送帶。可選的工作框允許用戶方便地存儲樣本,而加載工作站可確保將樣本正確加載到所需區域。氣體面板確保保持正確的氣體流速,而熱電偶測量每個區域的溫度以進行精確的熱力學監測。Crucibles and conveyer belts can be used to reduce injectional rise, while the later successed that multiple batches are processed flexly and efficiTOKYO ELECTRON VDF-615S能夠以可靠的精度進行高溫擴散。它也是一個用戶友好的資產,可以用最小的維護和提供出色的溫度控制操作。車型配備了多種特性和配件,以優化性能,提供靈活性。VDF-615S擴散爐是高效金屬擴散和熱處理應用的理想解決方案。
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