二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #293749182 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615S是一種具有先進控制和儀表的超高精度垂直擴散爐。其先進的供暖和制冷能力使其能夠處理各種行業的廣泛擴散過程。是半導體生產、航天、醫療器械制造等諸多需要嚴密溫度控制的應用中精密溫度控制的理想解決方案。TEL VDF 615S具有一個615mm直徑的不銹鋼腔室，用於容納各種各樣的基板，在氮大氣中的最高溫度為1000 °C。其優越的隔熱效率使其能夠在整個腔室保持均勻的溫度，提供均勻且可重復的擴散過程。TOKYO ELECTRON VDF 615S還具有精確、快速的碳化矽加熱元件，用於快速的室內加熱和冷卻。VDF 615S提供了一個高精度的溫度和流量監測系統，其中包括先進的溫度控制器，熱電偶和熱敏電阻。其PID（成比例積分導數）控制器能夠精確控制溫度,並能夠保持溫度低至100 °C。TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615S的控制器還提供更快的加熱和冷卻速率以及降低的功耗，使操作經濟。TEL VDF 615S還配備了一系列安全和操作功能。其雙葉片安全關閉系統可在溫度過高或壓力過大的情況下關閉電源。此外，它的氫冷耦合裝置可以防止火花和火災的發生。為了額外的安全,它的數字計數器記錄收費,運行時間和累積運行時間.TOKYO ELECTRON VDF 615S還包括各種附加功能，使其成為許多擴散過程的理想選擇。其高精度的機械零件為矽、砷化氙和氮化氙等材料提供了超高精度的工藝。它還能夠進行超高真空處理，這對於一些應用來說是必不可少的。最後,其先進的設備和優良的設計,便於操作和維護.VDF 615S的多功能性使得它成為許多不同擴散過程的絕佳選擇。其高精度儀器和溫度控制器可提供可重復和精確的擴散溫度，而其先進的安全特性使其成為廣泛行業的理想選擇。其競爭性價格使其成為尋求高效可靠擴散爐的企業的經濟選擇。