二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #293801781 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S擴散爐是一種固態化學擴散爐，設計用於半導體工業和研究實驗室。溫度範圍在50-900攝氏度，這種擴散爐適合廣泛的擴散過程。其設計包括固體石墨加熱元件、傳導調諧加熱曲線和壓力密封室，以確保加熱均勻。該擴散爐配有適合各種溫度剖面的三區模擬溫度控制器。為了獲得最高精度，前面板還包含一個可調風扇，以更好地冷卻腔室的背面，一個排氣口和一個熱電偶連接。這樣就可以在整個擴散過程中進行精確的溫度調節和監測。為了確保擴散過程所需的高溫在整個腔室內保持均勻，TEL VDF-615S還設有一個水平雙層氣流箱。這樣可以確保氣流在整個加熱處理器上均勻分布,從而實現均勻的性能。TOKYO ELECTRON VDF-615S還配備了許多專門針對擴散性能的其他功能。側面有一些特點，包括用於快速冷卻的進氣口、用於快速氣體凈化和排氣的空氣凈化系統，以及有助於混合氣體的渦輪盤。另外，擴散爐配有一個光學窗口，使人們可以目視觀察擴散過程。這個窗口是用石英蓋保護的，以防止對腔室的汙染，使其適合在廣泛的溫度範圍內使用。為了保證操作員的安全，在擴散爐中建立了多VDF-615S特點。這包括排氣流量監測儀、緊急排氣口、緊急啟動停止開關以及排氣管中的氧氣傳感器。這些特性有助於減少潛在的事故並維護熔爐環境的完整性。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S擴散爐是一種可靠的設備，適用於廣泛的擴散過程。它具有先進的安全特性和溫度控制，是研究和工業的理想設備。