二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615T #178007 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615T擴散爐是一種可靠、先進的用於半導體基板加工的工具。其廣泛的能力包括高溫氧化、氮化和熱處理。該爐由一個鋁室、兩個加熱區、兩個冷卻區、一個氣體面板、兩個氣體歧管、一個晶圓傳遞臂以及一個裝有100毫米樣品加熱盒和各種配件的前廳組成。爐膛采用波紋金屬制成，保證最大熱效率。它有兩個獨立可控的供熱區和兩個制冷區。第一個加熱區用於在加工過程中調節溫度，而第二個加熱區用於在擴散加工之前預熱材料。這兩個區域均由帶有PID類型控制器的外部控制器以及精確溫度傳感器操作。它還具有高性能的Pomega燃燒器系統和低輻射輻射的Hi-Velocity柴油低NOx燃燒器。氣體面板被設計用來向腔室供氣，供氣，供氮，供氫。它借助兩個氣體歧管調節氣流、壓力、溫度和組成。它還包括一個用於準確控制氣體的質量流量控制器。晶圓傳遞臂是一種氣動操作的動作臂，用於將基材輸送進和送出爐子。它由兩個連接的臂組成，一個垂直，一個水平，一個晶圓夾固定在交叉點。它由可編程的電動系統控制，並配有用於快速移動加熱基板的冷卻管線。前廳配有100毫米樣品加熱盒和各種配件。使用六區耐火加熱元件的樣品加熱盒，可將樣品加熱至900 °C。它還具有一個加熱器傳感器來測量加熱器的溫度。附件包括26通道高溫計、氣流控制單元、壓力調節器、真空計以及各種真空閥。TEL VDF 615T擴散爐是一種可靠、先進的工具，具有多種特點，適合半導體基板加工。它由優質材料和部件構成，保證了精確穩定的溫度控制。其廣泛的功能使其成為半導體加工應用的絕佳選擇。