二手 TEL / VARIAN 200SJ #293608156 待售

ID: 293608156
優質的: 1990
Ion implanter 1990 vintage.
TEL/VARIAN 200SJ擴散爐是一種先進的設備,在半導體制造領域具有廣泛的重要應用。這種擴散爐具有獨特的結構,允許更高的溫度均勻性,更高的生產率,並且對擴散層的精加工過程有更大的控制。此外,TEL 200SJ還配備了石英巖幹蝕刻設備和氫氣還原選件等輔助部件,可進一步提高制造工藝精度。石英巖幹蝕刻系統允許更有控制的幹蝕刻程序,這對於從薄膜材料中產生較好的擴散層至關重要。該單元利用高溫蒸發沈積孤立的薄膜石英巖層。此外,這臺機器的高尺寸允許比其他擴散爐更大的層蒸發和沈積速率。氫氣還原方案利用氫氣預退火處理進一步提高薄膜擴散層的質量。此選項允許對工藝參數進行內部調節,從而產生最準確的結果。VARIAN 200SJ擴散爐結構先進,溫度均勻性更高,生產率最優.它具有低排放管狀垂直設計,允許沿整個工藝室的整個長度均勻分布溫度。此外,200SJ還有一個分開的淋浴設計,通過確保整個腔室均勻分布過程氣體,幫助最大限度地擴大擴散過程。隨附的氣箱和入口有助於調節和監測工藝氣體的流動。TEL/VARIAN 200SJ擴散爐是一種設計精良的設備,具有多種先進的特點,在制造過程中具有更高的精度和精確度。該爐能夠在高溫下工作,在均勻條件下蒸發沈積薄膜石英巖層。此外,隨附的石英巖幹蝕刻工具和氫還原選項提供了進一步的精確度,並允許在擴散層中獲得最佳結果。歸根結底,這種擴散爐是半導體工業生產擴散層的關鍵工具。
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