二手 TEMPRESS TS81004 #9121169 待售

TEMPRESS TS81004是一種擴散爐及其附件，設計用於將氮化物和氧化過程應用於貴金屬。用於擴散鍵合、熱氧化、氮化等多種用途。爐子本身由一個絕緣室組成，能夠達到高達1650°C的溫度，並通過精確的溫度控制將溫度傳遞到1.4°C以內。該套件還包括一個計算機控制器、氣體入口、氣體調節和排氣口，用於控制處理。該系統允許對各種操作方案進行精確和一致的處理。擴散爐的腔室設計用於容納尺寸不超過4.5英寸的基板，最大樣品厚度為1英寸。用於擴散粘合的材料可以從標準工藝目錄中的任何可用材料中選擇，因此適用於各種各樣的材料和工藝。設置中還包括一個托盤套件，最多可容納6個晶圓，用於熱氧化和氮化過程。TS81004擴散爐裝置還配有附件，使系統更容易使用並確保安全。這包括一個排氣通風機，允許整個腔室適當的空氣流通，防止危險氣體積聚，一個液氮儲存和冷凝裝置，以及防火開關和限溫器等安全設備。TEMPRESS TS81004擴散爐及附件套件是一套集高精度設備與優越工業安全特性於一體的多合一套件。它提供了從擴散鍵合到熱氧化和氮化的一系列工藝能力，適用於各類基材的加工。該系統還設計了多種安全特性和部件,以實現最佳的生產效率。