二手 TEMPRESS TS81254 #9196754 待售
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ID: 9196754
Furnace
Horizontal annealing / Oxidation furnace
SCARA Robot
Digital process controller (DPC)
Digital temperature controller (DTC)
TEMPRESS System controller (TSC-2)
(1) Advanced fans assy
(2) Excess temperature controller
(8) Tube adapters
(4) Radiation heat-shield
(4) Isolation collar
(4) Profiling thermocouple for 1250mm flatzone
(4) Tubes
(5) Heating zones
System leak integrity: 10-8 cc/s He
With full automation system
Spectre HV vapor dry etch system with full automation
2014 vintage.
TEMPRESS TS81254是TEMPRESS生產的一種先進且功能強大的擴散爐和配件,為要求苛刻的制造商剪裁。這種設置非常適合許多擴散過程,如氧化鋁薄膜、電子包裝和太陽能電池制造。這套的核心是TEMPRESS TS 81254擴散爐,設計用於高達1,500 °C(2,732 °F)的工藝溫度。這個先進的系統提供4.5立方英尺(0.127米)的腔室和25千帕的最大工作壓力。它配備了風冷、低調感應加熱線圈,具有高達40 kHz的超高頻,以確保精確的配方控制。此外,它還具有正向抽取軸向力風扇(AFF),以確保空氣分布均勻,防止氧化,並防止後壓積聚。TS81254附件包括一個先進的真空鎖定閥(VLOV),該閥自動排出室內殘留氣體,以盡量減少爐膛內的水分。它還包括一個大容量的氣體歧管,配置以確保安全和可重復的氣流。這種歧管支持氮、氙和氫系統,加上它提供可靠的非溢出連接完整性。此外,系統設有多個烤箱控制器,監測關鍵壓力、溫度和濕度讀數,對擴散過程提供恒定反饋。高等級、低曲率的充氣濾波器進一步提高了熱效率和電效率。TS 81254是一種極其可靠、高效的擴散爐及配件,適用於要求絕對精度的制造商。此設置用途廣泛、可編程性強,並為可重復結果提供了一系列可重復的過程和參數。此外,它還具有先進的安全功能,可確保人員和環境的最大安全。總而言之,TEMPRESS TS81254是任何高級擴散應用程序的理想選擇。
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